技術編號：7798735
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種MEMS聲換能器，包括具有從中穿過的空腔，以及包括多個在襯底空腔上方進行延伸的傳導穿孔背板部分的傳導背板單元。布置在相鄰的傳導穿孔背板部分之間的背板單元上的電介質(zhì)間隔體，以及由電介質(zhì)間隔體所支撐并且在傳導穿孔背板部分上進行延伸的一個或多個石墨烯薄膜。專利說明MEMS聲換能器、MEMS麥克風、MEMS微型揚聲器、揚聲器陣列以及用于制造聲換能器的方法 [0001]本發(fā)明的實施例涉及MEMS (MEMS=微電子機械系統(tǒng))聲換能器、MEMS麥克風、MEM...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。