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固體攝像裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7766916

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本發(fā)明涉及背側(cè)照射型固體攝像裝置、背側(cè)照射型固體攝像裝置制造方法以及照 相機(jī)。背景技術(shù)在CMOS型固體攝像裝置中,已經(jīng)公開了一種可改善對(duì)于入射光的光電轉(zhuǎn)換效 率及靈敏度的背側(cè)照射型固體攝像裝置。在該背側(cè)照射型固體攝像裝置中,光從固體攝 像裝置的背側(cè)入射。該背側(cè)照射型固體攝像裝置被構(gòu)造成包括半導(dǎo)體基板,在該半導(dǎo) 體基板上形成有作為光電轉(zhuǎn)換器的光電二極管、像素晶體管以及用于形成信號(hào)電路的多 層布線層等(參見日本專利申請(qǐng)公開公報(bào)No. 2005-347707和日...
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