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技術(shù)編號(hào)：7745588

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本發(fā)明涉及一種硅麥克風(fēng)及其制備方法，尤其是一種電容式微型硅麥克風(fēng)及其制 備方法，具體地說是一種利用MEMS技術(shù)的微型硅麥克風(fēng)及其制備方法。背景技術(shù)MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)技術(shù)是幾年來高速發(fā)展的一項(xiàng)高新 技術(shù)，與傳統(tǒng)對(duì)應(yīng)器件相比，MEMS器件在體積、功耗、重量等方面都具有十分明顯的優(yōu)勢(shì)， 而且其采用先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝，可以實(shí)現(xiàn)MEMS器件的批量制造，能極好的控制生產(chǎn)成 本，提高器件的一致性。對(duì)于目前的M...
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