技術(shù)編號:7624366
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)。背景技術(shù) 微機電系統(tǒng)(MEMS)包括微機械元件、激勵器和電子設(shè)備。微機械元件可使用沉積、蝕刻或其它可蝕刻掉襯底及/或所沉積材料層的若干部分或可添加若干層以形成電裝置和機電裝置的微機械加工工藝制成。一種類型的MEMS裝置被稱為干涉式調(diào)制器。干涉式調(diào)制器可包含一對導(dǎo)電板,其中之一或二者可為整體或部分地透明和/或反射的,且能夠在施加一適當(dāng)電信號時相對移動。其中一個板可包含一沉積于一襯底上的靜止層,另一個板可包含一通過氣隙而與所...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。