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利用激光器進(jìn)行連線處理的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7607628

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0003本發(fā)明涉及對(duì)存儲(chǔ)器芯片或其它集成電路(IC)芯片上的導(dǎo)電連線的激光處理,特別是涉及利用具有特別定制的功率輪廓的激光脈沖的激光方法和系統(tǒng),以得到更佳的處理質(zhì)量以及產(chǎn)量。背景技術(shù)0004IC器件制造過(guò)程中的產(chǎn)量減少通常是由于次表面(subsurface)層或圖案的未對(duì)準(zhǔn)或粒子污染造成的。圖1、圖2A和圖2B示出了IC器件或工件12的重復(fù)性電子電路10,其通常以成行或成列的方式制造,從而包括冗余電路元件14的多重重復(fù),例如存儲(chǔ)器單元20的備用行16以及列...
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