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圖象傳感器的制造方法及圖象傳感器的制作方法技術資料下載

技術編號:7595527

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本發(fā)明涉及一種具有包含光電二極管的多個傳感器部的圖象傳感器及其制造方法。背景技術 在圖象傳感器中,排列有包含光電二極管的多個傳感器部,可以測量有關該傳感器部排列方向的光量分布。這種光電二極管,在現(xiàn)有技術中,例如通過往形成N型的第1區(qū)的半導體基板的表層部,摻入P型雜質后使其擴散,形成P型的第2區(qū)的方法制造。這樣,可以得到包含N型的第1區(qū)和在其上形成的P型的第2區(qū)的第1光電二極管(例如,參閱特開2000-312024號公報)。另外,有時在第2區(qū)上形成N型的第3...
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