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技術(shù)編號(hào)：7574282

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本發(fā)明涉及光投影系統(tǒng)中的薄膜致動(dòng)鏡象陣列及其制造方法，更具體地說(shuō)，涉及光投影系統(tǒng)中的薄膜致動(dòng)鏡象陣列及其制造方法，該投影系統(tǒng)具有反射構(gòu)件和致動(dòng)器，致動(dòng)器具有多個(gè)致動(dòng)部件，其中，相鄰的致動(dòng)部件在相反的方向一個(gè)一個(gè)地被致動(dòng)，從而設(shè)置在致動(dòng)器上的反射件具有大的傾斜角。一般地，從光學(xué)角度，光調(diào)制器可以分為兩種。一種類(lèi)型是直接光調(diào)制器，如陰極射線管(CRT，cathode ray tube)，另一種類(lèi)型是透射光調(diào)制器，如液晶顯示(LCD，liquid crystal...
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