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技術(shù)編號：7520121

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本發(fā)明特別涉及一種包含雙柵增強型高電子遷移率晶體管器件(Enhancement-mode High Electron Mobility Transistor , E-mode HEMT)的集成系統(tǒng)。背景技術(shù)由于壓電極化和自發(fā)極化效應(yīng)，在III族氮化物半導體異質(zhì)結(jié)構(gòu)上(Heterostructure),如AlGaN/GaN,能夠形成高濃度的二維電子氣。另外，III族氮化物半導體，具有高的絕緣擊穿電場強度以及良好的耐高溫特性。III族氮化物異質(zhì)結(jié)構(gòu)制備的HEM...
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