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技術(shù)編號：7506772

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本發(fā)明屬于微電子，特別是一種基于寄生電容調(diào)節(jié)的高精度溫度補償 MEMS振蕩器。背景技術(shù)隨著微加工技術(shù)的發(fā)展，諧振式MEMS結(jié)構(gòu)的制作越來越成熟，基于諧振式MEMS器件的振蕩器開始大規(guī)模商用化。MEMS振蕩器以其體積小，便于封裝和集成，可靠性高，開始大規(guī)模占領(lǐng)傳統(tǒng)的石英晶體振蕩器市場。但是由于諧振式MEMS器件材料本身的參數(shù)受到溫度的影響，其諧振頻率會隨溫度發(fā)生漂移，所以MEMS振蕩器同石英振蕩器一樣，也需要設(shè)計溫度補償電路。傳統(tǒng)的石英晶體振蕩器的溫度補償電...
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