技術編號：7463660
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于幾何量計量技術，涉及一種具有大伸長量剛性直簧結構的高精度移相器。背景技術目前微位移驅動元件的種類很多，如機電驅動類、電磁驅動類等。與其他微位移結構相比，壓電式移相器因其結構簡單、體積小、位移分辨率高(納米級)、響應快、抗強電磁干擾等諸多優(yōu)點，在光學、微電子技術、高精度定位、精密加工、激光通訊等各個領域中都有較為廣泛的應用。但有時科學實驗和生產中需要較大的(幾十微米以上級)、精確的且可控的行程量，此時傳統(tǒng)的壓電式移相器的結構往往不能同時滿足上述諸多...
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