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太陽能電池單晶硅片絨面的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7264083

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本發(fā)明為,解決巳有酸堿結(jié)合的單晶硅片絨面制備方法制備的單晶硅片表面反射率低的問題。清洗單晶硅片后,將其放入第一堿性溶液中,在[100]晶向的單晶硅片正面表面上形成第一層絨面,用酸性溶液清洗第一層絨面,再將單晶硅片放入第二堿性溶液中,對四棱錐的四個[111]晶面進行腐蝕,形成三角形滑移面堆積的、分層的單晶硅片的第二層絨面,這兩層絨面構(gòu)成太陽能電池的高效光吸收結(jié)構(gòu),用酸性溶液清洗單晶硅片的絨面,再用熱氧化法或PECVD法或磁控濺射法,在多層絨面結(jié)構(gòu)的表面生長厚...
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