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第iii族氮化物半導體發(fā)光器件的制作方法技術資料下載

技術編號:7263386

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本發(fā)明涉及第III族氮化物半導體發(fā)光器件。具體而言,本發(fā)明提供一種呈現(xiàn)出改進的發(fā)光效率的第III族氮化物半導體發(fā)光器件。發(fā)光層具有MQW結(jié)構,在MQW結(jié)構中重復沉積有多個層單元,每個層單元包括依次沉積的阱層、蓋層和勢壘層。阱層由InGaN形成,蓋層具有在阱層上按以下順序沉積的GaN層和AlGaN層的結(jié)構,以及勢壘層由AlGaN形成。AlGaN層的Al組成比高于勢壘層的Al組成比。當發(fā)光層沿厚度方向劃分為n型覆層側(cè)的前部和p型覆層側(cè)的后部時,在前部中的AlG...
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