技術編號：7258468
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種電熔絲結(jié)構及其形成方法、半導體器件。其中，電熔絲結(jié)構的形成方法包括提供半導體襯底，所述襯底具有凸起鰭部，鰭部為半導體材料，鰭部進行了第一類型摻雜；對鰭部頂部進行第二類型摻雜，進行了第二類型摻雜的鰭部頂部作為熔絲；或者，對鰭部頂部進行第二類型摻雜，之后，在鰭部上形成金屬硅化物，進行了第二類型摻雜的鰭部頂部和金屬硅化物共同作為熔絲，第二與第一類型相反，且第二類型摻雜的摻雜劑量大于第一類型摻雜的摻雜劑量；形成層間介質(zhì)層，覆蓋熔絲和所述襯底；在層間介...
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