技術(shù)編號(hào)：7253642
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于根據(jù)預(yù)定溫度曲線加熱襯底(12)來使襯底上的材料結(jié)晶的裝置(1)，所述裝置(1)包含殼體(2)；至少一處理腔(3)，所述處理腔(3)位于殼體內(nèi)并具備用于穿過襯底的第一及第二開口(6、7)；入口(17)，所述入口(17)用于將包含氣相材料的處理氣體引入第一處理腔中；至少兩個(gè)輸送輥(15)，所述至少兩個(gè)輸送輥(15)用于將襯底輸送到處理腔(3)中，其中輸送輥附接到殼體(2)以便可旋轉(zhuǎn)。此外，裝置具備用于防止處理氣體從處理腔逸出到處理腔(3)與殼體...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。