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位移裝置及其制造、使用和控制方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7252834

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位移裝置包括定子及可移動(dòng)臺(tái)。該定子包括多個(gè)線圈,該多個(gè)線圈被定形成在一個(gè)或多個(gè)層中提供多個(gè)大致線性伸長(zhǎng)的線圈跡線。線圈層可在Z方向上重疊。該可移動(dòng)臺(tái)包括多個(gè)磁體陣列。各磁體陣列可包括在對(duì)應(yīng)方向上大致線性伸長(zhǎng)的多個(gè)磁化區(qū)段。各磁化區(qū)段具有與磁化區(qū)段在其中伸長(zhǎng)的方向大致正交的磁化方向,且其磁化方向的至少兩個(gè)彼此不同??蛇B接一個(gè)或多個(gè)放大器以選擇性驅(qū)動(dòng)線圈跡線中的電流且從而實(shí)現(xiàn)該定子與該可移動(dòng)臺(tái)之間的相對(duì)移動(dòng)。專利說明[0001]相關(guān)申請(qǐng)[0002]本申請(qǐng)主張2...
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