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技術(shù)編號：7244316

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本發(fā)明的具體實(shí)施例大體上涉及半導(dǎo)體基材處理裝備。具體而言，本發(fā)明涉及用以改良處理腔室內(nèi)的制程氣體流的設(shè)備及方法。背景技術(shù)超大型積體(UltraLarge Scale Integrated Circuit, ULSI)電路可在諸如娃(Si)基材等半導(dǎo)體基材上，形成超過一百萬個(gè)電子裝置(例如，晶體管)，并相互合作執(zhí)行多種功能。ULSI電路中使用的電子裝置的實(shí)例為互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)場效應(yīng)晶體管。CMOS晶體管具有柵極結(jié)構(gòu)，其包含多晶硅柵極以與門極介...
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