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晶體管的制作方法技術資料下載

技術編號:7242376

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本實用新型涉及一種晶體管。本實用新型的晶體管包括半導體襯底;形成在所述半導體襯底上的柵極電介質(zhì);形成在所述柵極電介質(zhì)上的柵極;位于所述半導體襯底中、且分別在所述柵極兩側(cè)的源區(qū)和漏區(qū),其中至少所述源區(qū)和漏區(qū)之一包含在平行于襯底表面的方向上排列的多個位錯;位于所述源區(qū)和漏區(qū)上方的含硅外延半導體層;以及位于所述外延半導體層上方的金屬硅化物層。專利說明晶體管[0001]本實用新型涉及半導體器件制造領域,尤其涉及一種晶體管。背景技術[0002]通常,集成電路包含形成...
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