技術(shù)編號：7232394
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明，涉及一種在柵極電極上設(shè)置了應(yīng)力絕緣膜(在此，所謂的應(yīng)力 絕緣膜是指在溝道區(qū)域沿柵極長度方向或者柵極寬度方向產(chǎn)生應(yīng)力的絕緣 膜。)的。背景技術(shù)作為以往技術(shù)所涉及的半導(dǎo)體裝置來說，所被提議的有以提高晶體管 的驅(qū)動能力為目的，在柵極電極上設(shè)置了應(yīng)力絕緣膜的半導(dǎo)體裝置(例如參照專利文獻1)。下面，關(guān)于以往技術(shù)所涉及的半導(dǎo)體裝置，在參照圖17 的同時加以說明。圖17，是表示以往技術(shù)所涉及的半導(dǎo)體裝置結(jié)構(gòu)的剖面 圖。如圖17所示，在由硅構(gòu)成的半導(dǎo)體村底700中...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。