技術編號：7232015
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及太陽能電池制作工藝，更具體地說，涉及一種硅片鍍膜用的石墨舟。 背景技術硅片是太陽能電池的載體，經過表面制絨、擴散制結、化學清洗、等離子刻蝕、沉積減反射膜、印刷電極、燒結等工藝制成電池片。電池片經串聯封裝制成太陽能光伏組件，再配合上功率控制器等部件就形成了光伏發(fā)電系統(tǒng)。其中，沉積減反膜(鍍膜)是太陽能電池片制作過程中的一個重要工藝，通過等離子增強氣象化學沉積PECVD (Plasma EnhancedChemical Vapor Deposit...
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