技術(shù)編號：7229225
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種經(jīng)由光掩模(以下稱為掩模)將電路等的圖案曝光于各種基板的。背景技術(shù) 以往的基板曝光裝置在將基板搬入曝光室前會搬運(yùn)至預(yù)定位(預(yù)對準(zhǔn))臺而進(jìn)行預(yù)定位(例如參照專利文獻(xiàn)1)，之后將基板搬入曝光室而載置于曝光臺上，在曝光前先進(jìn)行調(diào)整(對準(zhǔn))，接著才進(jìn)行曝光。上述預(yù)定位臺是具有搬入用滾子臺與預(yù)定位裝置而將基板進(jìn)行預(yù)定位的裝置。該搬入用滾子臺是將從形成于裝置側(cè)壁面的基板入口搬入的基板于水平方向進(jìn)行支撐的裝置。然后，預(yù)定位裝置在搬入用滾子臺的滾子間的間隙中...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。