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Ⅲ-Ⅴ發(fā)光器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7223577

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本發(fā)明涉及諸如發(fā)光二極管之類的半導(dǎo)體發(fā)光器件,具體來講,涉 及其上可以生長(zhǎng)這種發(fā)光器件的生長(zhǎng)襯底。相關(guān)4支術(shù)說明包括發(fā)光二極管(LED)、諧振腔發(fā)光二極管(RCLED)、垂直腔激 光二極管(VCSEL)和邊緣發(fā)射激光器在內(nèi)的半導(dǎo)體發(fā)光器件是現(xiàn)用的 最有效的光源。在制造能夠跨越可見光譜進(jìn)行操作的高亮度發(fā)光器件 的過程中,目前所關(guān)注的材料體系包括組III-V半導(dǎo)體,特別是鎵、 鋁、銦和氮的二元、三元和四元合金,也將其稱為III -氮化物材料。 通常,III -...
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