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氮化鎵基化合物半導(dǎo)體發(fā)光器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7223312

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本發(fā)明涉及一種氮化鎵基化合物半導(dǎo)體發(fā)光器件。更具體地說,本發(fā) 明涉及一種具有低驅(qū)動(dòng)電壓(Vf)且光輸出效率優(yōu)良的氮化鎵基化合物半 導(dǎo)體發(fā)光器件。背景技術(shù)近年來,GaN基化合物半導(dǎo)體材料作為用于短波長發(fā)光器件的半導(dǎo)體 材料吸引了越來越多的注意力。通過使用藍(lán)寶石單晶、各種其它氧化物和 III-V族化合物作為襯底且通過在襯底上應(yīng)用金屬有機(jī)氣相化學(xué)反應(yīng)方法 (MOCVD)或分子束外延方法,制造GaN基化合物半導(dǎo)體。GaN基半導(dǎo)體材料的一個(gè)特性特征是,在橫向方向上電...
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