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氮化物半導(dǎo)體發(fā)光元件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7213155

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件,特別是涉及一種氮化物半導(dǎo)體發(fā)光元件。 背景技術(shù)發(fā)光二極管(LED)因具有低耗電、體積小、壽命長以及易于安裝的優(yōu) 勢而被廣泛應(yīng)用。對于發(fā)光二極管的研究,目前面臨兩個重要課題, 一是 如何提高發(fā)光二極管的亮度,二是如何降低發(fā)光二極管的制造成本。由于缺乏氮化鎵的單晶襯底,使得氮化鎵目前只能生長在藍寶石上。 硅(Si)、碳化硅(SiC)、氧化鋅(ZnO)、氧化鎂(MgO)均屬于異質(zhì)結(jié)構(gòu) (hetero-structure)外延生長方式。因...
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