技術(shù)編號(hào)：7210670
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)是分案申請(qǐng)。原申請(qǐng)?zhí)枮?4119364.0，原申請(qǐng)日為1994年12月2日，其發(fā)明名稱為“半導(dǎo)體器件的制造方法”。本發(fā)明涉及利用有結(jié)晶性的半導(dǎo)體器件。使用薄膜半導(dǎo)體形成的薄膜晶體管(下稱TFT等)是已公知的。這種TFT是在襯底上形成薄膜半導(dǎo)體、使用該薄膜半導(dǎo)體構(gòu)成的。這種TFT被用于各種集成電路，特別是電光學(xué)裝置、尤其作為設(shè)置于有源矩陣型液晶顯示裝置的各像素的開關(guān)元件、作為在外圍電路部分形成的驅(qū)動(dòng)元件引起了人們的普遍關(guān)注。用于TFT的薄膜半導(dǎo)體，雖然...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。