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技術(shù)編號：7205394

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一種Pl I I工藝流程控制和在線劑量、均勻性檢測裝置技術(shù)領(lǐng)·域本實用新型涉及PIII，特別涉及一種PIII工藝流程控制和在線劑量、均勻性檢測裝置。背景技術(shù)半導(dǎo)體摻雜技術(shù)能夠使半導(dǎo)體呈現(xiàn)出不同的電學(xué)特性。目前，通常使用的半導(dǎo)體摻雜技術(shù)為束線離子注入(Ion Implantation, II),采用II時，利用質(zhì)譜儀分析提取所需的離子組分，利用掃描裝置對提取出來的離子組分加速，使之具有一定的能量后注入到半導(dǎo)體基片中，采用II時，需要使用質(zhì)譜儀和掃描裝置，成本...
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