技術(shù)編號(hào)：7204950
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于對(duì)半導(dǎo)體晶片等被處理體進(jìn)行成膜處理等熱處理的處理裝置、和 該處理裝置使用的載置臺(tái)裝置以及溫度控制方法。背景技術(shù)為了制造半導(dǎo)體集成電路，通常對(duì)半導(dǎo)體晶片等被處理體反復(fù)進(jìn)行成膜處理、蝕 刻處理、熱擴(kuò)散處理、改性處理等各種處理。例如以對(duì)每一枚半導(dǎo)體晶片實(shí)施熱處理的單張式的處理裝置為例進(jìn)行說(shuō)明，在能 夠進(jìn)行抽真空的處理容器內(nèi)，例如將內(nèi)裝有由鉬線構(gòu)成的電阻加熱器的載置臺(tái)安裝設(shè)置在 從容器底部豎起的腿部的上端，并在該載置臺(tái)上載置半導(dǎo)體晶片。然后，在這樣將...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。