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技術編號：7186286

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本實用新型屬于半導體光電子器件制造領域，涉及一種半導體激光器，尤其是一種新型低成本的疊層陣列式液體制冷半導體激光器。 背景技術半導體激光器又稱激光二極管(LD)。進入八十年代，人們吸收了半導體物理發(fā)展 的最新成果，采用了量子阱(QW)和應變量子阱(SL-QW)等新穎性結構，引進了折射率調(diào)制 Bragg發(fā)射器以及增強調(diào)制Bragg發(fā)射器最新技術，同時還發(fā)展了 MBE、 M0CVD及CBE等晶 體生長技術新工藝，使得新的外延生長工藝能夠精確地控制晶體生長，達到...
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