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半導體結構形成方法技術資料下載

技術編號:7180830

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本發(fā)明涉及半導體制造領域,特別涉及一種。 背景技術BiCMOS (Bipolar CMOS)是由雙極型門電路和互補金屬-氧化物半導體(CMOS)門 電路構成的集成電路。特點是將雙極(Bipolar)工藝和CMOS工藝兼容,在同一芯片上以一 定的電路形式將雙極型電路和CMOS電路集成在一起,兼有高密度、低功耗和高速大驅動能 力等特點。BiCMOS于20世紀80年代初提出并實現,主要應用在高速靜態(tài)存儲器、高速門陣 列以及其他高速數字電路中,還可以制造出性能優(yōu)良...
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