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大規(guī)模半導(dǎo)體制造過(guò)程的狀態(tài)監(jiān)控與故障診斷方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7162292

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本發(fā)明是一種,涉及多傳感信號(hào)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換、大規(guī)模過(guò)程數(shù)據(jù)集維度縮減和重要特征提取、數(shù)據(jù)概率密度分布空間描述建模、過(guò)程狀態(tài)監(jiān)控和故障診斷,實(shí)現(xiàn)對(duì)復(fù)雜的大規(guī)模半導(dǎo)體制造過(guò)程的狀態(tài)監(jiān)控與故障診斷。本發(fā)明屬于制造過(guò)程的狀態(tài)監(jiān)控和故障診斷。背景技術(shù)目前,半導(dǎo)體制造系統(tǒng)呈現(xiàn)出了高自動(dòng)化、高精度、高可靠性、高度智能化的發(fā)展趨勢(shì),強(qiáng)調(diào)制造過(guò)程的可控性,可靠性和可維護(hù)性。半導(dǎo)體制造過(guò)程相當(dāng)復(fù)雜,制造過(guò)程不僅工序繁多,而且時(shí)間跨度長(zhǎng),因此過(guò)程異常而引起各種過(guò)程故障可導(dǎo)致大批晶圓成...
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