技術(shù)編號：7159606
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)拋光后，清洗晶片。圖5舉例說明了清洗金屬波形花紋結(jié)構(gòu)的傳統(tǒng)方法。圖5的步驟S1中，傳統(tǒng)的清洗方法首先除去晶片表面的顆粒。拋光晶片后，在刷洗單元中除去顆粒。在刷洗單元中，以刷洗器進(jìn)行表面清洗處理，所用化學(xué)溶液為氨水。在同樣的刷洗單元中，用純水進(jìn)行沖洗處理。隨后，清洗方法繼續(xù)除去晶片表面的金屬雜質(zhì)。在另一個刷洗單元中，除去金屬雜質(zhì)。在步驟S2中，在刷洗單元中，用刷洗器進(jìn)行表面清洗處理，所用化學(xué)溶液為酸溶液。在同樣的刷洗單元中，用純水進(jìn)行沖洗處理。除去金...
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