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技術(shù)編號：7156238

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本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體制程，特別是有關(guān)于一種瓶型渠溝電容器(bottle-shaped trench capacitor)的制程，更特別是一種。背景技術(shù) 動態(tài)隨機存取內(nèi)存(Dynamic Random Access Memory，以下簡稱為DRAM)是以記憶胞(memory cell)內(nèi)電容器的帶電荷(charging)狀態(tài)來儲存數(shù)據(jù)。然而隨著DRAM體積的縮小化，深渠溝型(deep trench type)電容器便被廣泛地應(yīng)用在DRAM中。然而，為了要...
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