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一種雙圍柵結(jié)構(gòu)的隧穿場(chǎng)效應(yīng)晶體管及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7155627

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件,具體涉及。背景技術(shù)器件尺寸按摩爾定律(Moore Law)不斷縮小,使得器件的短溝道效應(yīng)和亞閾性能退化愈發(fā)嚴(yán)重,這限制了器件的應(yīng)用和進(jìn)一步的縮小。為了保證器件的性能,需要從新材料、器件新結(jié)構(gòu)、新工作機(jī)制等方面出發(fā),優(yōu)化出性能優(yōu)異的器件。在器件的結(jié)構(gòu)方面,多柵結(jié)構(gòu)方面的研究成為熱點(diǎn)在80年代提出的雙柵(DG)結(jié)構(gòu),其比單柵結(jié)構(gòu)能更好地控制溝道區(qū)的電勢(shì)分布;以及后來(lái)提出的垂直雙柵(FinFET)結(jié)構(gòu),便于工藝實(shí)現(xiàn);具有三個(gè)柵的三柵結(jié)構(gòu),比...
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