技術(shù)編號(hào)：7146716
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于制備半導(dǎo)體的加熱裝置，并且更具體而言，涉及一種要求熱均勻性的涂布機(jī)-顯影裝置(coater-developer)的加熱裝置。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體制備中，通過(guò)Al濺射、Cu電鍍和其它方法在硅晶片上形成Al電路和Cu電路，但是近年來(lái)，伴隨著更高集成度和更小尺寸的半導(dǎo)體裝置的是穩(wěn)定地朝著更窄的導(dǎo)線寬度及導(dǎo)線之間更窄的空間(間隔)方向發(fā)展。使用光刻技術(shù)形成Al電路和Cu電路的布線圖。例如，在Al薄膜上均勻涂布樹(shù)脂之后，將稱作分檔器(stepper)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。