技術(shù)編號:7145529
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于電路系統(tǒng)中的微型器件。背景技術(shù) 書名為“Introduction to Microelectromechanical Microwave Systems”一書(Artech House出版社出版)的第122頁中曾描述了一種著名的傳統(tǒng)技術(shù)。下面將參照圖1和2來描述其細(xì)節(jié)。圖1是一開關(guān)的剖面圖,該開關(guān)具有由膜片構(gòu)成的膜片結(jié)構(gòu)。如圖2所示,當(dāng)中斷信號時,施加一靜電力使薄膜與電極接觸,而在信號導(dǎo)通時則不施加靜電力。但是,在傳統(tǒng)器件中,由于開關(guān)被短...
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