技術(shù)編號(hào)：7143136
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，尤其是涉及。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)的退火工藝，主要工藝條件為退火過程中石英管通入氮?dú)饧欲}酸的氣體，目的是為了去除爐管內(nèi)及單晶表面金屬離子，提高退火壽命，此方法對(duì)于提高單晶少子壽命有一定效果，但也存在不足退火過程對(duì)環(huán)境的要求較高，長(zhǎng)期通入HCL氣體造成設(shè)備及廠房多處嚴(yán)重腐蝕，給設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)造成很大困難，同時(shí)爐管附件的鐵銹等會(huì)在開爐時(shí)進(jìn)入爐管造成二次沾污，單晶少子壽命又會(huì)受影響；另外，長(zhǎng)期處于鹽酸氣氛環(huán)境中，對(duì)于操作人員的健康也有極大損害。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。