技術(shù)編號(hào)：7135955
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種防泄露液態(tài)源擴(kuò)散爐本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐領(lǐng)域，尤其是涉及一種能夠防止?fàn)t內(nèi)氣體泄露的液態(tài)源擴(kuò)散爐。背景技術(shù)公知的，在半導(dǎo)體器件及太陽能電池片生產(chǎn)過程中，擴(kuò)散工序就是對(duì)P型或N型襯底進(jìn)行摻雜以形成PN結(jié)，目前最主要也最普遍使用的摻雜設(shè)備就是以P0Cl3、BBr3和C3H9O3B等作為液態(tài)雜質(zhì)源進(jìn)行摻雜的液態(tài)源擴(kuò)散爐；在實(shí)際操作時(shí)，為了在摻雜過程中保證液態(tài)雜質(zhì)源的溫度恒定，一般均采用將盛放液態(tài)雜質(zhì)源的石英源瓶放置于恒溫裝置內(nèi)進(jìn)行摻雜操作，然而，由于目前的干式恒...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。