技術(shù)編號：7119230
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明通常涉及微型芯片，特別是，本發(fā)明涉及微型芯片的封裝技術(shù)。背景技術(shù)微機電系統(tǒng)(“MEMS”)廣泛應用于不斷增長的用途。例如目前，MEMS作為陀螺儀實施，以便探測飛機的傾角，并且作為加速度計有選擇的在汽車內(nèi)與氣囊配置使用。簡言之，這種MEMS裝置典型的具有懸置在基片上的結(jié)構(gòu)，和相關(guān)電子器件，該電子器件既可感知懸置結(jié)構(gòu)的運動，并向一個或更多外部裝置(例如外部電腦)傳輸感知的運動數(shù)據(jù)。外部裝置處理感知的數(shù)據(jù)，以便計算正在測量的性能(例如傾角或加速度)。相關(guān)電...
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