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一種大功率氮化物led結(jié)構(gòu)及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7110803

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本發(fā)明專利涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,具體涉及一種大功率氮化物L(fēng)ED結(jié)構(gòu)及其制造方法。 背景技術(shù)發(fā)光二極管(LED)是一種能將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成光信號(hào)的結(jié)構(gòu)型電致發(fā)光的半導(dǎo)體器件。氮化鎵(GaN)基發(fā)光二極管作為固態(tài)光源一經(jīng)出現(xiàn)便以其高效率、長(zhǎng)壽命、節(jié)能環(huán)保、體積小等優(yōu)點(diǎn)被譽(yù)為繼電燈后人類照明史上的又一次革命,成為國際半導(dǎo)體和照明領(lǐng)域研發(fā)與產(chǎn)業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。以氮化鎵(GaN)、氮化銦鎵(InGaN)、氮化鋁鎵(AlGaN)和氮化銦鋁鎵(AlGaInN)為主的III V族氮...
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