技術(shù)編號(hào)：7109256
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及晶體硅太陽能電池領(lǐng)域，具體的說，是一種在P型硅硅片上制備新型高效，低成本，大面積PN結(jié)的方法。背景技術(shù)目前90%以上的晶體硅電池片都是在P型硅硅片上通過擴(kuò)散磷制備PN結(jié)制備而得，常用的擴(kuò)散工藝為管式擴(kuò)散和隧道爐擴(kuò)散。管式擴(kuò)散采用三氯氧磷(POCl3)作為擴(kuò)散源，將硅片一片片垂直裝入管式擴(kuò)散爐中，然后通入以氮?dú)鉃檩d體的三氯氧磷氣體，擴(kuò)散溫度為800-900°C，擴(kuò)散時(shí)間為60-180分鐘；這種工藝的主要缺點(diǎn)為1)采用劇毒的三氯氧磷為擴(kuò)散源，存在一定...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。