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鍵合強(qiáng)度可調(diào)節(jié)的柔性襯底的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7103194

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體,特別是指一種鍵合強(qiáng)度可調(diào)節(jié)的柔性襯底結(jié)構(gòu)。迄今為止,已有大量的砷化鎵及硅柔性襯底制備成功。但是現(xiàn)有的柔性襯底技術(shù),其柔性中間層與機(jī)械支撐襯底的鍵合強(qiáng)度要么太強(qiáng),使柔性層柔性喪失;要么太弱,使外延層卷曲或脫落。鍵合強(qiáng)度可調(diào)節(jié)柔性襯底成功的解決了外延層與機(jī)械支撐襯底之間的鍵合強(qiáng)度問(wèn)題,在分立器件和光電集成產(chǎn)業(yè)中必將得到廣泛的應(yīng)用,因此對(duì)其制備和研究具有重要意義。隨著光電信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,越來(lái)越需要把不同的光電器件集成到一起,而首要的問(wèn)題是如何把...
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