技術(shù)編號：7101534
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造過程中晶圓夾持裝置。背景技術(shù)在半導體制造過程中，如晶圓的清洗、拋光等，在片盒-片盒、片盒-腔室之間存在對晶圓進行的大量傳輸，因此設計出一種安全有效的晶圓傳輸裝置是半導體行業(yè)研究的熱點之一。專利US2006/0192400A1的晶圓傳輸裝置如圖13所示。托盤124上固定有四個凸 起支撐126，晶圓底面與126上表面接觸，由126支撐，可移動夾子138通過連桿136與氣缸130連接。通過執(zhí)行外部控制單元指令，氣缸推動桿136進行前后直線移動...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。