技術編號：7101436
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及GaN基材料的外延生長，尤其涉及GaN基藍綠光發(fā)光二極管的外延生長。背景技術發(fā)光二極管(LED, Light Emitting Diode)具有長壽、節(jié)能、環(huán)保、可靠性高等優(yōu)點，并且近年來，LED在大屏幕彩色顯示、交通信號燈和照明等領域發(fā)揮了越來越重要的作用。但要在全彩屏顯示和照明領域應用更加廣泛，LED的亮度有待進ー步的提升，生長成本還有待于進一歩降低。目前絕大多數(shù)GaN基藍綠光LED都是采用金屬有機化合物氣相沉積方法(M0CVDMetal-O...
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