技術(shù)編號：7098883
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及ー種GaN外延片結(jié)構(gòu)及制備方法，尤其是一種，屬于外延片的。背景技術(shù)用于GaN生長最普遍的襯底是藍寶石襯底；其優(yōu)點是化學(xué)穩(wěn)定性好，不吸收可見光、價格適中、制造技術(shù)相對成熟。使用藍寶石作為襯底也存在一些問題，例如晶格失配和熱應(yīng)カ失配，導(dǎo)熱性能不好。尤其是藍寶石的導(dǎo)熱性能不好(在100°c約為25W/ Cm · K))，在使用LED器件時，會傳導(dǎo)出大量的熱量；特別是對面積較大的大功率器件，導(dǎo)熱性能是ー個非常重要的考慮因素。通常LED采用藍寶石作為襯底，...
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