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技術(shù)編號：7098198

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本發(fā)明涉及一種納米級圖案化藍寶石襯底的制備方法，特別涉及一種適用于發(fā)光二極管(LED)外延的。背景技術(shù)氮化鎵(GaN)基的發(fā)光二極管(LED)作為一種新型高效的固體能源，將成為人類照明史上繼白熾燈、熒光燈之后的第三代照明工具。藍寶石襯底由于具有耐高溫、機械強度高等優(yōu)點成為目前外延GaN使用最廣泛的材料。然而，藍寶石襯底和GaN材料之間存在的巨大晶格失配和熱膨脹系數(shù)失配問題導(dǎo)致GaN材料內(nèi)部產(chǎn)生大量缺陷，降低內(nèi)量子效 率。另一方面，由于GaN折射率高于藍寶石...
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