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技術(shù)編號：7093697

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在此所討論的實施例涉及可變電容元件，更具體的涉及通過使用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造的可變電容元件。背景技術(shù)可變電容元件是例如變頻振蕩器、調(diào)諧放大器、移相器、和阻抗匹配電路之類的電路中所用的組件。近年來，便攜設(shè)備中安裝了越來越多的可變電容元件。與目前主要用作可變電容元件的變?nèi)荻O管相比，使用MEMS技術(shù)所制造的可變電容元件可以實現(xiàn)高Q值而能量損失小。因此，期望發(fā)展使用MEMS技術(shù)所制造的可變電容元件，并使其投入實際應(yīng)用。在下文中，使用MEMS技術(shù)所制造的...
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