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一種帶有漸變式dbr層的藍光led外延結構的制作方法技術資料下載

技術編號:7090298

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本實用新型公開了一種帶有漸變式DBR層的藍光LED外延結構,涉及LED。其結構由下至上依次為藍寶石襯底;低溫GaN緩沖層;漸變式布拉格反射層(DBR);n型GaN,層;多量子阱發(fā)光層;p型AlGaN;p型GaN接觸層。本實用新型在藍光LED外延結構中生長漸變式DBR層,采用漸變式DBR可以反射有源區(qū)向下射向襯底的光,使其光路改變向頂部射出。漸變式DBR既能反射小角度入射光又能反射大角度入射光,進而提高發(fā)光二極管器件的亮度。該外延結構制備工藝簡單、易于實施,...
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