技術(shù)編號:7068013
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供了一種石墨舟及其石墨舟舟鉤,該石墨舟舟鉤包括舟鉤本體和硅片支撐鉤,硅片支撐鉤固定在舟鉤本體的兩側(cè),硅片支撐鉤的頂端具有上端朝向舟鉤本體的方向傾斜的傾斜切面。本實(shí)用新型通過將硅片支撐鉤的頂端朝向舟鉤本體的方向傾斜,一方面,使得硅片支撐鉤不易因碰撞而損壞,進(jìn)而可以大大提高了石墨舟舟鉤的使用壽命;另一方面,這種硅片支撐鉤的尺寸較小,減小了鍍膜卡點(diǎn),進(jìn)而降低了硅片邊緣色差的產(chǎn)生。另外,本實(shí)用新型中的石墨舟舟鉤的鉤頂較低,提高了硅片的鍍膜效果。專利說明...
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