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熱處理裝置用的腔室及熱處理裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7054308

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本發(fā)明提供熱處理裝置用的腔室及熱處理裝置,對(duì)于熱處理裝置用的腔室,即使是大型的,也能夠進(jìn)一步減少制作所花費(fèi)的勞力和時(shí)間。熱處理裝置(1)的腔室(4)具有筒狀的側(cè)壁(12),其用于包圍被處理物;以及端壁(13),其封閉側(cè)壁(12)的一方的開口部(12b)。腔室(4)是將以氧化硅為主要成分的多個(gè)部件(側(cè)壁(12)、端壁(13)、第1連結(jié)部件(14)、第2連結(jié)部件(15))機(jī)械結(jié)合起來而形成的。專利說明熱處理裝置用的腔室及熱處理裝置 [0001]本發(fā)明涉及...
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