技術編號：7052739
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了，通過腐蝕性氣體與多晶硅片化學反應來刻蝕多晶硅片表面，腐蝕性氣體由混合酸溶液加熱蒸發(fā)產生，或由混合酸溶液與硅反應產生，或由混合酸溶液加熱蒸發(fā)及與硅反應共同產生，該方法不僅可以得到比現行混合酸溶液刻蝕制絨更好的減反射效果，還可以解決金剛石切割太陽電池用多晶硅片的表面制絨問題。專利說明-種太陽電池用多晶硅片的氣相刻蝕制絨方法 [0001] 本發(fā)明為，尤其是一種能夠解決金 剛石線鋸切割太陽電池用多晶硅片表面減反射刻蝕制絨難題的方法。 背景技術...
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