技術(shù)編號(hào)：7050659
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種基板處理方法和基板處理裝置。在一種使用傳熱氣體進(jìn)行基板的溫度控制的工藝中，維持基板面內(nèi)的處理的均勻性。基板處理方法包括將處理容器內(nèi)調(diào)節(jié)為成為真空狀態(tài)的壓力P0的步驟；在利用升降銷(85)使基板S從載置臺(tái)(5)的上表面離開(kāi)的狀態(tài)下，對(duì)處理容器(1)內(nèi)導(dǎo)入調(diào)壓氣體，將處理容器(1)內(nèi)調(diào)節(jié)為比壓力P0高的壓力P1的步驟；使升降銷(85)下降來(lái)將基板載置于載置臺(tái)(5)的步驟；從處理容器(1)內(nèi)將調(diào)壓氣體排氣的步驟；和一邊將傳熱空間的壓力維持為P2，一...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。